(1) ಪೂರ್ವ-ಪಿವಿಡಿ ಚಿಕಿತ್ಸೆ, ವಸ್ತುಗಳ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಪೂರ್ವ-ಚಿಕಿತ್ಸೆ ಸೇರಿದಂತೆ.ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ವಿಧಾನಗಳಲ್ಲಿ ಡಿಟರ್ಜೆಂಟ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ, ರಾಸಾಯನಿಕ ದ್ರಾವಕ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ, ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಅಯಾನ್ ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟದ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಸೇರಿವೆ.
(2) ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚೇಂಬರ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಫಿಕ್ಚರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಐಟಂಗಳು ಮತ್ತು ಫಿಕ್ಚರ್‌ಗಳ ಸ್ಥಾಪನೆ, ಕಾರ್ಯಾರಂಭ ಮತ್ತು ಸಂಪರ್ಕ ಸೇರಿದಂತೆ ಅವುಗಳನ್ನು ಕುಲುಮೆಗೆ ಹಾಕಿ.
(3) ನಿರ್ವಾತಗೊಳಿಸುವಿಕೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 6.6Pa ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನದಕ್ಕೆ ಪಂಪ್ ಮಾಡುವುದು, ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಮತ್ತು ಡಿಫ್ಯೂಷನ್ ಪಂಪ್ ಅನ್ನು ಬಿಸಿಮಾಡಲು ಡಿಫ್ಯೂಷನ್ ಪಂಪ್‌ನ ಮುಂಭಾಗವನ್ನು ಮೊದಲೇ ತೆರೆಯಿರಿ.ಪೂರ್ವಭಾವಿಯಾಗಿ ಕಾಯಿಸಿದ ನಂತರ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಕವಾಟವನ್ನು ತೆರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಸರಣ ಪಂಪ್‌ನೊಂದಿಗೆ 6 x 10-3 Pa ಅರ್ಧ ಕೆಳಭಾಗದ ನಿರ್ವಾತಕ್ಕೆ ಪಂಪ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ.
(4) ಬೇಕಿಂಗ್, ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬಯಸಿದ ತಾಪಮಾನಕ್ಕೆ ಬೇಯಿಸುವುದು.
(5) ಅಯಾನು ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟ, ನಿರ್ವಾತವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 10 Pa ನಿಂದ 10-1 Pa, ಅಯಾನು ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟ ವೋಲ್ಟೇಜ್ 200 V ನಿಂದ 1 KV ವರೆಗಿನ ಋಣಾತ್ಮಕ ಅಧಿಕ ವೋಲ್ಟೇಜ್, ಮತ್ತು ದಾಳಿಯ ಸಮಯವು 15 ನಿಮಿಷದಿಂದ 30 ನಿಮಿಷಗಳು.
(6) ಪೂರ್ವ-ಕರಗುವಿಕೆ, ವಸ್ತುವನ್ನು ಪೂರ್ವ-ಕರಗಿಸಲು ಪ್ರವಾಹವನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸುವುದು, ಲೋಹಲೇಪವನ್ನು ಪೂರ್ವ-ಕರಗಿಸಲು ಪ್ರವಾಹವನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸುವುದು ಮತ್ತು 1 ನಿಮಿಷ ~ 2 ನಿಮಿಷಗಳವರೆಗೆ ಡೀಗ್ಯಾಸಿಂಗ್ ಮಾಡುವುದು.ಆವಿಯಾಗುತ್ತಿರುವ ನಿಕ್ಷೇಪ.ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಠೇವಣಿ ಸಮಯ ಮುಗಿಯುವವರೆಗೆ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಪ್ರವಾಹವನ್ನು ಅಗತ್ಯವಿರುವಂತೆ ಸರಿಹೊಂದಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಕೂಲಿಂಗ್, ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ತಾಪಮಾನಕ್ಕೆ ತಂಪಾಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
(7) ಐಟಂಗಳನ್ನು ಹೊರತೆಗೆದ ನಂತರ, ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯನ್ನು ಮುಚ್ಚಲಾಗುತ್ತದೆ, ನಿರ್ವಾತವನ್ನು l × l0-1Pa ಗೆ ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣಾ ಪಂಪ್‌ಗೆ ಮೊದಲು ಡಿಫ್ಯೂಷನ್ ಪಂಪ್ ಅನ್ನು ಅನುಮತಿಸುವ ತಾಪಮಾನಕ್ಕೆ ತಂಪಾಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಂಪಾಗಿಸುವ ನೀರನ್ನು ಆಫ್ ಮಾಡಬಹುದು.